SEM / EDS

品質保證

分析表面處理後之表面形貌與表面成分鑑定，顯微組織觀察，提供二次電子（SE）影像和背向散射電子（BSE）影像，用於樣品表面形貌與組織之顯微觀察。BSE影像可以反映樣品化學組成上之差異。

技術應用

針對各種材料表面微結構觀察。藉由SEM本身之量測功能，可提供精準之尺寸量測，如膜厚等。
EDS：可提供樣品表面之微區定性或半定量之成份元素分析，與特定區域之Point、Line Scan、Mapping分析；其中SDD detector更能在低電壓下，提升Mapping的空間解析度。
SEM：自動拍照，搭配層次去除技術de-process可提供電路逆向工程參考。